准分子激光用于光学表面的直接成形

　　激光与光电子学进展bookmark0某些沾污物所产生，小组进行了20次实验，不管加热材料如何，都获得了相同结果下一步是制作较大的CO2-V样品并确定其性质。这转而允许研宄人员开始研宄产生亚稳形态的方法，如现在人造金刚石所具有的，在较原始条件下，亚稳形态能够保持样品的特‘性小组所做的材料，在常温下仍能维持其结构，但气压必须在1GPa以上Yoo说，金刚石也是要求人们使用高气压和高温合成的材料，但现在己能在常温条件下制造，没有任何理由认为将来不能在这种条件下制作CO2-V（从征）准分子激光用于光学表面的直接成形将光学表面作成其最后形状，传统方法是光、切削、清洗、测量、重新装配、然后再光的反复过程许多光学制造厂商的强烈愿望是发明一种可以选择性和控制性的切削，同时又允许进行表面形状测量的技术曰本大阪大学激光工程研宄所的研宄人员恰好实现了这种愿望，他们发明了一种用以调整光学元件波前误差并允许对元件作同时干涉探测的台式技术其过程是依靠193nm波长ArF准分子激光对聚甲基丙烯酸甲酷（PMMA）的烧蚀厚度50m范围的PMMA薄膜成层于预备构作的光学表面上，再把这个构件放到其中心有大双色分束器的构形烧蚀系统内。ArF激光器的输出在分束器处与干涉仪的测量路径组合待成形的光学构件放在该组合路径中的精密x，平台上在烧蚀前，用透射干涉或反射干涉法测量光学表面，并与希望的表面形状比较。然后，计算机产生一个位置图和使表面正确成形所需的脉冲发射数。

　　4.5mm直径的光阑选出ArF激光束的均匀部分。这部分光束直接投射到光学表面上。当激光以17Hz频率发射脉冲时，计算机控制衬底的x-；位置测量后，在构件处于原来位置下重复该过程，直至波前误差达到能接纳水平。通常这种脉冲辐照和配来获得高的表面光滑度。而248rim波长辐射则产生高度不规则表面。采用紫外固化树脂还能获得光滑的表面，但其它苯基塑料在烧蚀时产生过多的碳。PMMA烧蚀速率在41mJ/cm2能量时为每发（脉冲）16nm到56mJ/cm2能量时的每发35nm所形成的表面不平整度约为10nm，研宄人员称，这个平整度己适合普通光学系统的许多应用。

　　在对涂紫外固化树脂的5cm直径板的实验中，在能量通量密度为45mj/cm2情况下，研宄人员采用初始不规则波前误差为3X峰谷值（P-V）的平表面，使其表面误差下降到0.17XP-V另外，他们从具有2.5XP-V初始波前误差的不规则表面出发，己制作一个精度达0.2XP-V的球面。

　　研宄人员T.Jitsuno副教授说，他们现在正试图把此种方法用于激光二极管的微透镜制造这种方法也适用于通到家庭的光纤连接。

　　（从征）脉冲激光淀积技术颇有希望脉冲激光淀积（PLD）技术的发展带来了合适衬底上高质量陶瓷薄膜应用的革命，但这种技术还没有经常用于工业中1998年5月份由美国国家标准技术研宄院和海军研宄实验室组织的一个讨论会上，来自工业界、美国政府实验室和政府机构以及学术界的近一百名专家讨论了妨碍脉冲激光淀积完全工业应用的技术障碍。

　　利用脉冲激光烧蚀的薄膜淀积己给研宄人员制备化学上和结构上复杂的无机材料薄膜提供了一种强有力的灵活手段，否则它们就很难或不可能用普通的物理或化学蒸汽淀积法制作（见图）脉冲激光淀积的应用，特别是研宄应用，过去10年己明显增多。下一代薄膜应用诸如电子学、传感器和保护性/功能性硬涂层的应用都需有化学复杂性提高的薄膜，并且要有更通用和更可控的处理工艺。

　　现在大多数研宄人员和工艺学家都需自己研制脉冲激光淀积设置和工艺，因为几乎没有商品化装置或生产设备可供使用，这反映了这种技术不成熟为了解决限制脉冲激光淀积更广泛工业应用的技术障碍，来自脉冲激光淀积界不同部门的组织领导人出席了该讨论会一“脉冲激光淀积技术障碍：研宄干涉测量循环必须重复两次或三次需要和机遇”讨论会。讨论包括如下主要论题：工艺研宄人肩选用u193nm烧蚀波长和PMMA组。设备的研制和按比例放大、过程监视和控制、有希望r4-2Ul5，hinaAcademicJournal