金刚石具有一系列独特的性质:宽光谱区透明、硬度、耐磨性化学惰性和高激光损伤阈值。由于气相沉积多晶金刚石膜工业工艺的发展,它有了广泛应用,其中包括作为制造光学元件的材料。金刚石有较高的折射率,由于反射损耗,金刚石板在10.6,um波长的透射率不大于71%,因此研究金刚石膜透课题具有特殊的迫切性一般的薄膜式减反涂层在性能上逊于金刚石,不能充分利用金刚石板的独特性质。没有这种缺点的可供选择的方法是在金刚石膜表面形成起伏的周期性亚波长结构。
人们知道,周期小于Ara=X/n(入为入射辐射的波长,n为材料的折射率)的光栅形成只含零级极大的衍射图对于入射辐射,这样的亚波长起伏光栅等于有效折射率为nf的薄层(nef小于原材料的折射率)(),因此发生表面透作用。具有给定光栅参数改性表面的有效折射率和光透射率可在有效介质理论框架内计算上述表面透法在实践上曾在一系列红外透明材料(ZnS,Ge)上实现,在这种情况下,为形成微观周期结构使用了光刻法在高化学稳定性的金刚石情况下,使用表面激光加工工艺更有前途应当指出,虽然金刚石的激光腐蚀己很好地研究过